burkert寶德熱式氣體質量流量控制器20001217特點介紹

8741型熱式氣體質量流量控制器*150nl/min,空氣,標定壓力2bar,鋁基座,G1/4寸,4-20mA

控制器|空氣| 15000nl /min | 24 V DC |內螺紋- G1/4" | 4-20 mA

流量控制器是一種用于調節(jié)和穩(wěn)定流體流量的設備，廣泛應用于化工、石油、能源、環(huán)保、科研等領域。其核心特點如下：

核心特點

高精度與穩(wěn)定性

精度等級高：熱式質量流量控制器精度可達±0.8% F.S.，重復性±0.1% F.S.，確保流量控制的穩(wěn)定性。

抗干擾能力強：不受溫度、壓力波動影響，直接測量質量流量，適用于復雜工況。

快速響應與動態(tài)調節(jié)

響應時間快：熱式控制器響應時間＜300 ms，適應動態(tài)調節(jié)場景（如半導體工藝中的實時控制）。

動態(tài)補償功能：通過PID算法實時調整閥門開度，維持流量設定值。

寬量程比與靈活性

量程覆蓋廣：支持從0.01 L/min到160 L/min的流量范圍，適應不同工藝需求。

多氣體校準：可針對多種氣體（如N?、H?、O?）進行校準，提高設備利用率。

智能化與集成化

數(shù)字通信接口：支持CANopen、PROFIBUS DP等協(xié)議，便于集成至工業(yè)網絡。

遠程監(jiān)控：通過上位機軟件實現(xiàn)流量監(jiān)控、參數(shù)設置和故障診斷。

環(huán)境適應性與可靠性

惡劣環(huán)境耐受：防護等級IP65，支持-10°C至+70°C工作環(huán)境。

長壽命設計：采用耐腐蝕材料（如316L不銹鋼），減少維護成本。

技術優(yōu)勢

直接質量流量測量

區(qū)別于體積流量計，直接測量氣體質量流量，避免溫壓補償誤差。

閉環(huán)控制算法

集成PID控制器，根據(jù)流量偏差實時調整控制信號，確保控制精度。

模塊化設計

可選配不同閥門、傳感器和通信模塊，靈活適配應用場景。

應用場景

半導體制造

控制晶圓加工中的氣體流量（如CVD工藝中的硅烷），確保薄膜均勻性。

新能源

燃料電池中氫氣流量控制，優(yōu)化能源轉換效率。

環(huán)保工程

垃圾焚燒廠煙氣流量監(jiān)測，確保環(huán)保達標。

科研實驗

實驗室氣相色譜儀載氣流量控制，提升分析精度。

醫(yī)療設備

麻醉機中氧氣/笑氣混合比控制，保障手術安全。

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